AL2O3薄膜电路
薄膜陶瓷电路:
1.产品特点:
薄膜电路是指通过诸如溅射,光刻和电镀的半导体工艺在陶瓷基板上集成电阻器,电感器和金属导带而形成特定功能的电路。主要有以下特点:
高集成度,小体积
高线路精度和出色的组件性能
出色的温度稳定性和频率特性,使用频率高达毫米波
2.产品用途:
通信:微波毫米波通信,光通信,无线电通信; LED大功率照明;传感器技术;医学影像;生物技术。典型器件包括Langer耦合桥,分路器滤波器,传输线,循环器,隔离器,电阻器,衰减器和散热器。
3.工艺特点:
支持生产薄膜集成电路,满足客户对多种陶瓷基板(如氧化铝,氮化铝,氧化钇,铁氧体和微波基板)的特殊图案要求。 *精细金属带宽0.02mm,金属带*小间距0.02mm,精度±0.002mm;产品*外形尺寸小0.2mm×0.2mm,精度±0.02mm; *小电阻1Ω,*大电阻50KΩ,精度5%,10%,特殊精度高达0.5%(使用激光微调)。
支持细线,精细电路制造,图案化陶瓷侧边,金属化,侧壁包覆和双面图案电路制造。
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