射频微波高频氧化铝薄膜电路
光刻和蚀刻
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积极抵制
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可用于Au，TiW，Ta，NiCr，Ni，Cu，Ti，SiO2的湿蚀刻
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最小几何蚀刻
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导体：0.6密耳（0.1公差）
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电阻器：0.2密耳（0.04）
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