.

Автоматическая высокого вакуума система покрытия с тепловым испарением ET-EVAP400C-1

Главная
вакуумная камера
304 Прямоугольная коробка изготавливается из нержавеющей стали. Размер : 400×400×450mm. (Когда интегрирует с перчаточным боксом ) передней двери с автоматическим управлением,Задняя дверь является вручную петлей, две двери имеют смотровое окно.
В Камере есть стыки для освещения, прибора для измерения толщины покрытий и других оборудований.
Вакуумная система
Комплексный молекулярный насос (насосная скорость 1200L / S) +роторный насос с совместным прямым включением (скорость откачки 9L / S), Электрическое соединение откидной клапан высокого вакуума, автоматический контроль.
Предельный вакуум
≤6×10-5Pa
Скорость откачки
Из атмосферы откачивается до 9 × 10-4Pa≤30min (кратковременного
воздействия на атмосферу, начала выкачивать воздух,когда после заполнения сухим азотом.
Система
чипа
Размера выборки
Выдвижные типа структуры, неся менее 120 × 120 мм максимальный образец , SMC Японский пневматический дефлектор чипа ,
Электрическая автоматическая регулировка сцепления.
Форма движения
Стадия подложки с использованием магнитных непроницаемое для жидкости,Можно поднимать и опускать.
Расстояние между источником и подложкой 200 ~ 300 мм с плавной регулировкой;
стадия подложки непрерывное вращение, скорость 0-30 г / мин регулируется;
Вышеуказанная процедура являются автоматического управления.
Отопление
Комнатная температура ~ 300 ℃, японский остров PID интеллектуальная система контроля температуры.
Источник испарения
Источник испарения металла
2 группы, использование водяным охлаждением медного электрода + структура испарения лодки .
Органический источник испарения
2 группы, использование температурного контроля ПИД-регулятор луча источника печи, тигель ≥2CC, при комнатной температуре ~ 300 ℃, непрерывно регулируемый
Энергопитания
Испарения
Энергопитания
испарения металла
Ток 300А, максимальная выходная мощность 3KW (преобразование для двух групп переменного испарения)
Органический источник испарения
PID интеллигентный температура испарения мощности (регулирование температуры с точностью ± 1 ℃)
Система контроля толщины пленки
Прибор для измерения толщины покрытий с кварцом ,
контроль толщины диапазона отображения 0-99μ9999Å
Система охлаждения
При циркуляции воды охлаждения машины, пользователь просто предоставляет место.
Система охранной сигнализации и защиты
Законченная блокировка логической программы и система защиты,
Тревоги для водяных насосов, электродов, перегрузок по току и перенапряжения, короткого замыкания и других ненормальных ситуации, и выполнить соответствующие защитные меры.
Толщина пленки Неоднородность
Φ100mm≤±5.0%
Система перчаточного бокса
Коробка перчаточного бокса
Размер коробки : 1500мм (L) х 750мм (Ш) х 900мм (H)
Основной передаточный шлюз: ¢360×600mm
Мини передаточный шлюз: ¢150×300mm
Высота поддержки: 950мм
Газочистная система
H2O <1 ppm (20°C/68 ℉, 1 atm)
O2 <1 ppm (20°C/68 ℉, 1 atm)
Очистительная система одностоечной колонны
Очистительная система растворителей
GE импортный анализатор для кислорода и воды
Режим управления
PLC+PC полностью автоматическое управление



Отправить запрос, связаться с поставщиком

Кому: Корпорация Ида (Китай) ЛТД
Ваш E-mail:
Текст письма:


Send to other suppliers

Другие товары поставщика

Перчаточный бокс lab2000(1800×750)
Перчаточный бокс lab2000(1800×750) H2O<1PPM,O2<1PPM Этосовременныйиэффективныйвариантоборудованиядляпроведенияработ,требующихвысокуюиультравысокуюочисткурабочейзоныоткислорода,...
Перчаточный бокс с точной сваркой и система защиты инертных газов
Перчаточный бокс с точной сваркой и система защиты инертных газов The system is mainly used in the field of hermetical welding for titanium alloy, aluminum alloy and other material to avoid oxidation and micro cra...
Автоматическая высокого вакуума система покрытия с тепловым испарением ET-EVAP400C-1
Автоматическая высокого вакуума система покрытия с тепловым испарением ET-EVAP400C-1 Главная вакуумная камера 304 Прямоугольная коробка изготавливается из нержавеющей стали. Размер : 400×400×450mm. (Когда интегрирует с п...
перчаточный бокс для лазерной сварки
перчаточный бокс для лазерной сварки
Вакуумный перчаточный бокс-YD-VGB-A
Вакуумный перчаточный бокс-YD-VGB-A Product description: Vacuum Glove Box-YD-VGB-A Stainless Steel Vacuum Glove Box with Airlock chamber and gauges,transparent front panel make operat...
Все товары поставщика

Похожие товары

Газовая система очистки
Газовая система очистки Продавец: Корпорация Ида (Китай) ЛТД Model: GP20G Configuration: single purification columns, vacuum pumps, water oxygen Analyzer and ...
SPS-5/800 Система растворителей очистки
SPS-5/800 Система растворителей очистки Продавец: Корпорация Ида (Китай) ЛТД Product description: SPS-5/800 Solvent purification system
Система растворителей очистки
Система растворителей очистки Продавец: Корпорация Ида (Китай) ЛТД Product description: SPS-3/800 Solvent purification system
Перчаточный бокс с точной сваркой и система защиты инертных газов
Перчаточный бокс с точной сваркой и система защиты инертных газов Продавец: Корпорация Ида (Китай) ЛТД The system is mainly used in the field of hermetical welding for titanium alloy, aluminum alloy a...
Перчаточный бокс lab2000(2400×750)
Перчаточный бокс lab2000(2400×750) Продавец: Корпорация Ида (Китай) ЛТД H2O<1PPM,O2<1PPM Этосовременныйиэффективныйвариантоборудованиядляпроведенияработ,требующихв...