Автоматическая высокого вакуума система покрытия с тепловым испарением ET-EVAP400C-1
Главная
вакуумная камера
304 Прямоугольная коробка изготавливается из нержавеющей стали. Размер : 400×400×450mm. (Когда интегрирует с перчаточным боксом ) передней двери с автоматическим управлением,Задняя дверь является вручную петлей, две двери имеют смотровое окно.
В Камере есть стыки для освещения, прибора для измерения толщины покрытий и других оборудований.
Вакуумная система
Комплексный молекулярный насос (насосная скорость 1200L / S) +роторный насос с совместным прямым включением (скорость откачки 9L / S), Электрическое соединение откидной клапан высокого вакуума, автоматический контроль.
Предельный вакуум
≤6×10-5Pa
Скорость откачки
Из атмосферы откачивается до 9 × 10-4Pa≤30min (кратковременного
воздействия на атмосферу, начала выкачивать воздух，когда после заполнения сухим азотом.
Система
чипа
Размера выборки
Выдвижные типа структуры, неся менее 120 × 120 мм максимальный образец , SMC Японский пневматический дефлектор чипа ,
Электрическая автоматическая регулировка сцепления.
Форма движения
Стадия подложки с использованием магнитных непроницаемое для жидкости,Можно поднимать и опускать.
Расстояние между источником и подложкой 200 ~ 300 мм с плавной регулировкой;
стадия подложки непрерывное вращение, скорость 0-30 г / мин регулируется;
Вышеуказанная процедура являются автоматического управления.
Отопление
Комнатная температура ~ 300 ℃, японский остров PID интеллектуальная система контроля температуры.
Источник испарения
Источник испарения металла
2 группы, использование водяным охлаждением медного электрода + структура испарения лодки .
Органический источник испарения
2 группы, использование температурного контроля ПИД-регулятор луча источника печи, тигель ≥2CC, при комнатной температуре ~ 300 ℃, непрерывно регулируемый
Энергопитания
Испарения
Энергопитания
испарения металла
Ток 300А, максимальная выходная мощность 3KW (преобразование для двух групп переменного испарения)
Органический источник испарения
PID интеллигентный температура испарения мощности (регулирование температуры с точностью ± 1 ℃)
Система контроля толщины пленки
Прибор для измерения толщины покрытий с кварцом ,
контроль толщины диапазона отображения 0-99μ9999Å
Система охлаждения
При циркуляции воды охлаждения машины, пользователь просто предоставляет место.
Система охранной сигнализации и защиты
Законченная блокировка логической программы и система защиты,
Тревоги для водяных насосов, электродов, перегрузок по току и перенапряжения, короткого замыкания и других ненормальных ситуации, и выполнить соответствующие защитные меры.
Толщина пленки Неоднородность
Φ100mm≤±5.0%
Система перчаточного бокса
Коробка перчаточного бокса
Размер коробки : 1500мм (L) х 750мм (Ш) х 900мм (H)
Основной передаточный шлюз: ¢360×600mm
Мини передаточный шлюз: ¢150×300mm
Высота поддержки: 950мм
Газочистная система
H2O <1 ppm (20°C/68 ℉, 1 atm)
O2 <1 ppm (20°C/68 ℉, 1 atm)
Очистительная система одностоечной колонны
Очистительная система растворителей
GE импортный анализатор для кислорода и воды
Режим управления
PLC+PC полностью автоматическое управление
Другие товары поставщика
Все товары поставщика
Похожие товары
