单晶石英晶片/环
压电石英晶片由单晶石英晶体加工而成，具有良好的正/逆压电效应，广泛应用于定时频率控制、频率选择及QMEMS等方向。尖端应用包括：压控晶振（VCXO）、温补晶振（TCXO）、恒温晶振（OCXO）等。
材料特性
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材料 |
压电级和光学级单晶石英 |
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Q活力值 |
最小 1.8x10^6, 2.4x10^6 to 3.0x10^6 IEC standards |
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腐蚀隧道密度 |
最大 2 /c㎡， 10/c㎡, Max 30/c㎡, Max 100/c㎡, Max 300/c㎡; Swept Quartz |
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包裹体级别 |
Ia, Ib, I, II, III 级 |
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电清洗 |
Z向或Y向石英棒，电清洗材料或非电清洗材料 |
加工能力
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直径 |
3”(76.2mm) |
4”(100mm) |
6”(150mm) |
8”(200mm) |
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厚度 |
||||
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主平台 |
22mm |
32mm |
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表面处理 |
LTV (5mmx5mm) |
<1.5µm |
TTV |
<1.5~3 µm |
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Bow |
-30<bow<30 |
Warp |
<40µm |
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Surface Type |
SSP / DSP |
Edge Criteria |
R=0.2mm or Bullnose |
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Polished side Ra |
<0.5nm or per requested |
Back Side Criteria |
General is 0.2-0.5µm or as customized |
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