铌酸锂晶片
铌酸锂具有良好的非线性光学性质,可用作光波导材料,或用于制作中低频声表滤波器、大功率耐高温超声换能器等。铌酸锂掺杂技术如今被广泛应用。Mg:LN提高抗激光损伤阈值,优化在非线性光学领域的应用;Nd:Mg:LN晶体可实现自倍频效应;Fe:LN晶体可用于光学体全息存储。
材料特性
材料 |
3" 4" 6" 8"铌酸锂晶片(声表级/光学级) |
切型 |
X/Z/Y41°/Y64°/Y128°/YZ/YX 切型可定制 |
居里温度 |
1142°C±3°C |
掺杂 |
Zn, MgO 单掺或双掺 |
加工能力
表面处理 |
单面抛光/双面抛光/单面研磨/双面研磨 |
|
厚度 |
||
TTV |
< 1~5µm |
|
BOW |
± (25µm ~40um ) |
|
Warp |
<= 35µm |
|
LTV (5mmx5mm) |
<1.5 um |
|
PLTV(<0.5um) |
≥98% (5mm*5mm) 边缘2mm除外 |
|
边缘 |
Compl't with SEMI M1.2@with GC800# .regular at C typed |
|
定向平台 |
根据要求定制 |
|
抛光面 |
Roughness Ra<=5A |
|
反面 |
Roughness Ra:0.5-1.0µm GC#1000 |
|
倒角 |
符合 SEMI M1.2 Standard/refer to IEC62276 |
|
裂缝、锯痕、污渍 |
无 |
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