磁控溅射金
导体：TiW / Au和Ti / Au
厚度：100nm到500nm
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TiW/Au |
金属膜厚100nm/500nm |
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陶瓷热沉 |
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真空镀膜Au |
导体：TiW / Au和Ti / Au 厚度：100nm到500nm |
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微波混合集成薄膜电路50欧姆微带传输线 |
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